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在产生低温等离子体过程中,高频放电产生瞬时高能量,打开有些有害气体的化学键,使其分解成单质原子与无害分子。

等离子体中包含了大量的高能电子、离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基,这些活性粒子的平均能量高于气体分子的键能,它们和有害气体分子发生频繁的碰撞,打开气体分子的化学键生成单原子分子和固体颗粒,同时产生的大量-OH,-HO2,-O等自由基和氧化性极强的O3跟有害气体分子发生化学反应生成无害产物。

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